“该课题研制的激光湿度测量仪产品，实现了复杂工况下的湿度测量，在环保和印染烘干等领域具有积极的推广意义。”3月18日，北京经开区企业北京航天易联科技发展有限公司（以下简称：航天易联）与中国科学院半导体所承担的“基于TDLAS的高精度的湿度传感器研发”课题验收会顺利召开。专家组审阅了课题验收材料、听取了课题组的汇报、考察了项目成果研发生产现场，给予充分肯定，一致同意该课题通过验收。

由于主流的吸附式湿度传感器低湿（＜40℃霜点）和高湿（＞35℃露点）测量误差大；此外在烟尘、腐蚀、气液并存等工况条件时存在数据漂移、易失效甚至损毁、无法连续监测等问题。因此，题组开始研制新一代湿度测量技术，即可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）技术。该方法通过非接触式测量，适合复杂工况下可靠测量，采用窄线宽激光器，有效避免交叉干扰。通过开展测量优化修正等方法，实现准确、实时、快速监测。该课题的成功实施将实现高端传感器、仪器仪表的国产化，填补国内湿度测量领域的空白，改变传统高端气体传感器依赖进口的现状。课题组掌握TDLAS技术核心技术和核心器件，达到了知识产权自主可控，进一步的产业化将实现高端TDLAS湿度传感器、TDLAS激光气体传感器在各行各业的使用，提高我国工业领域、环保领域等湿度测量水平。

“在课题推进中，就考虑到产业化推广工作，”航天易联公司相关负责人介绍说，本课题中，半导体所开展核心激光器封装技术研究，提供了高可靠性的激光器封装技术，开发了精准波长控制技术。易联公司开展产业化研究，在激光器基础上，根据环保用户、工业过程监测用户需求，开发了TDLAS激光湿度传感器及仪器仪表，开展了多项现场示范应用，双方紧密配合，器件研发→产品设计→示范应用→批产，实现了产学研用闭环运作。

航天易联已经建立了TDLAS高精度的湿度传感器生产线，通过试生产确定了最终的产品生产工艺，完成了产品的小批量生产与交付，为TDLAS产业化打下基础。截至目前，TDLAS的高精度的湿度传感器在河北石家庄炼油厂、武汉钢铁(集团)脱硫排放口等近10家行业企业展开应用，并获得好评及认可。